Leica DCM8 - конфокальный 3D профилометр 

Область применения: Метрология поверхности. 

Микроскоп Leica DCM8 предназначен для исследования топографии поверхности в конфокальном и интерферометрическом режимах с построением моделей и измерений на сканируемых поверхностях.

Наиболее часто используется для измерения шероховатостей и в микроэлектронике с разрешением по вертикали до 1 нм.

Использование конфокальной технологии позволяет быстро и точно осуществлять профилометрию поверхностей сложной формы или с крутыми наклонами до 70° без порчи образца.

Преимущественно используется с моторизованными осями X, Y, Z и антивибрационным столиком.

Высокоточный анализ поверхностей имеет большое значение в промышленности и науке в целях обеспечения оптимальных характеристик материалов и компонентов. Существуют однако, сложные аспекты: поверхности могут состоять из сложных структур с очень покатыми участками, что требует горизонтального разрешения в несколько микрон, или же резкие микроскопические пики и впадины, что требует разрешения по вертикали в субнанометровом диапазоне. И если высокое горизонтальное разрешение обеспечивается конфокальной микроскопией, для достижения требуемого разрешения по вертикали в субнанометровом диапазоне необходима интерферометрия. 

Преимущества: 

„ Интерферометрия высокой четкости с оптимальным разрешением по вертикали до 0.1 нм; 

„ Три метода измерения толстых и тонких пленок; 

„ Четыре светодиода, позволяющие получать цветные изображения в палитре RGB: синий (460 нм), зеленый (530 нм), красный (630 нм) и белый (центральная длина волны 550 нм). 

Общие характеристики: 

„ Принцип измерения: бесконтактная трехмерная двухъядерная оптическая профилометрия (конфокальная регистрация и интероферометрия). 

Функции: 

„ Получение изображений с высоким разрешением, измерение рельефов с высоким разрешением в 3D, измерение профилей, координат, толщины, шероховатости, объема, поверхности, структуры, спектральный анализ, колориметрия и т.п. 

Режимы контрастирования: 

„ HD конфокальный; 

„ HD интерферометрия (PSI, ePSI, VSI); 

„ HD светлопольный цветной, светлопольный, темнопольный; 

„ конфокальный HD RGB в реальном времени. 

Высота образца: 

„ 40 мм в стандартной конфигурации; 

„ до 150 мм с регулируемой колонкой; 

„ по требованию большая высота образца. 

Объективы: 

„ от 1.25x до 150x с конфокальным, светлопольным и темнопольным режимами; 

„ от 5x до 50x в режиме интерферометрии. 

Диапазон перемещения столика (XYZ): 

„ по вертикали: z = 40 мм; 

„ в поперечном направлении: xy = 100x75 мм (в стандартном исполнении) или до 300x300 мм; 

„ различные столики больших размеров. 

Диапазон сканирования по вертикали: 

„ конфокальный режим: 40 мм; 

„ PSI: 20 мкм; 

„ ePSI: 100 мкм; 

„ VSI: 10 мм. 

Подсветка: светодиодные источники света: 

„ красный: 630 нм; 

„ зеленый: 530 нм;  

„ синий: 460 нм; 

„ белый: центральная длина волны 550 нм. 

Отражающая способность образца: 0.1-100 %. 

Размеры: (ДxШxВ) 573x390x569 мм. 

Масса: 48 кг.