Настольный сканирующий электронный микроскоп Cube II
Узнать цену
Настольный сканирующий электронный микроскоп Cube II подходит для анализа образцов с высоким увеличением и разрешением, а также осуществлять сбор данных об их элементном составе.
Узнать цену
Технические характеристики
-
Диапазон увеличения:20 – 200 000 крат
-
Встроенный блок из 4-х сменных апертур:20/20/50/100 мкм
-
Пространственное разрешение:5 нм при 30 кВ (во вторичных электронах
-
Столик образцов с перемещениями X-Y:40 x 40 мм (моторизованное), Z: 5 ～ 38мм (моторизованное), наклон: -90° ～ +90° (ручное)
-
Габариты и вес:ШГВ 410х440х520 мм, 65 кг
Описание
Параметры электронно-оптической системы
– Электронная пушка с термоэмиссионным вольфрамовым катодом
– Диапазон ускоряющего напряжения: 1 - 30 кВ
– Шаг регулировки ускоряющего напряжения: 1 кВ
Вакуумная система
– Схема вакуумной откачки на базе пластинчато-роторного форвакуумного насоса и турбомолекулярного насоса
– Автоматический контроль вакуума
– Время откачки до рабочего вакуума – 90 секунд
– Время напуска – 10 секунд
– Вакуум в камере образцов: < 9х10-3 Па
– Шумопоглощающий кожух для форвакуумного насоса
Камера и столик образцов
– Возможность поворота области сканирования электронным пучком: 0 ～ 360°
– Возможность сдвига области сканирования электронным пучком: ±50 μm
Система управления
Система элементного микроанализа AZtec Advanced с детектором Xplore 30 Compact
– кремний-дрейфовый детектирующий элемент
– охлаждение детектора — элемент Пельтье
– активная площадь детектирующего элемента – 30 мм2
– разрешение на линии Mn Kα – 129 эВ при скорости счёта 100 000 имп/с
– диапазон детектируемых элементов – от B (5) до Cf (98)
– Электронная пушка с термоэмиссионным вольфрамовым катодом
– Диапазон ускоряющего напряжения: 1 - 30 кВ
– Шаг регулировки ускоряющего напряжения: 1 кВ
Вакуумная система
– Схема вакуумной откачки на базе пластинчато-роторного форвакуумного насоса и турбомолекулярного насоса
– Автоматический контроль вакуума
– Время откачки до рабочего вакуума – 90 секунд
– Время напуска – 10 секунд
– Вакуум в камере образцов: < 9х10-3 Па
– Шумопоглощающий кожух для форвакуумного насоса
Камера и столик образцов
– Возможность поворота области сканирования электронным пучком: 0 ～ 360°
– Возможность сдвига области сканирования электронным пучком: ±50 μm
Детекторы
– Детектор вторичных электронов для получения изображений топографического контраста
– Четырёхсегментный высокочувствительный полупроводниковый детектор обратно-рассеянных электронов, расположенный симметрично под полюсным наконечником, для получения изображений контраста среднего атомного номера (композиционного контраста)
– Видеокамера внутреннего обзора камеры образцов
– Детектор вторичных электронов для получения изображений топографического контраста
– Четырёхсегментный высокочувствительный полупроводниковый детектор обратно-рассеянных электронов, расположенный симметрично под полюсным наконечником, для получения изображений контраста среднего атомного номера (композиционного контраста)
– Видеокамера внутреннего обзора камеры образцов
–Управляющая станция микроскопа; Жидкокристаллический монитор профессиональной серии с диагональю 32 дюйма, разрешением 2560×1440 пикселей и IPS-матрицей. Клавиатура и мышь.
Программное обеспечение
– Программный модуль для управления и настройки микроскопа, включающий функции автоматической фокусировки, автоматической настройки яркости и контраста изображения, автоматического центрирования электронной пушки. Формат сохранения изображений: TIFF, JPG, BMP
– Программный модуль для управления и настройки микроскопа, включающий функции автоматической фокусировки, автоматической настройки яркости и контраста изображения, автоматического центрирования электронной пушки. Формат сохранения изображений: TIFF, JPG, BMP
Прочее
– Источник бесперебойного питания на 2,0 кВА для защиты оборудования и безопасного выключения. Благодаря технологии двойного преобразования, подключенное оборудование обеспечивается напряжением с идеальной синусоидальной формой
– Эргономичный стол оператора шириной с нишей под ПК
– Источник бесперебойного питания на 2,0 кВА для защиты оборудования и безопасного выключения. Благодаря технологии двойного преобразования, подключенное оборудование обеспечивается напряжением с идеальной синусоидальной формой
– Эргономичный стол оператора шириной с нишей под ПК
Расходные материалы и держатели
– Комплект расходных материалов и держателей для работы фиксации образцов в течение 1 года.
– Комплект расходных материалов и держателей для работы фиксации образцов в течение 1 года.
Система элементного микроанализа AZtec Advanced с детектором Xplore 30 Compact
– кремний-дрейфовый детектирующий элемент
– охлаждение детектора — элемент Пельтье
– активная площадь детектирующего элемента – 30 мм2
– разрешение на линии Mn Kα – 129 эВ при скорости счёта 100 000 имп/с
– диапазон детектируемых элементов – от B (5) до Cf (98)
Программное обеспечение AZtec Advanced
Быстрый и удобный поиск в образце участков со специфическим составом.
EDS-карты и суммарный EDS-спектр обновляются в реальном времени синхронно с перемещением столика образцов микроскопа и синхронно с изменением параметра «увеличение». «Живые» EDS-карты.
Получение, обработка и количественный анализ спектров EDS, пучок электронов при этом направляется программным обеспечением микроскопа.
– Коррекция пиков суммирования.
– Современная универсальная программа коррекции матричных эффектов XPP, дает лучшие результаты по сравнению с ZAF и PhiRhoZ как для легких, так и для тяжелых элементов.
– Встроенная библиотека стандартов для безэталонного анализа при любых параметрах SEM. Простая возможность оптимизации системы по одному элементу (обычно кобальт) для точного анализа без нормализации.
– Автоматическая идентификация пиков спектра, также есть инструменты для проверки и уточнения набора автоматически идентифицированных элементов (маркеры пиков элементов, реконструированный спектр, профили пиком).
Выбор точек и участков произвольной формы на электронном изображении для последовательного накопления спектров. Пиксельный размер электронного изображения 64, 128, 256, 512, 1024, 2048, 4096 и 8192 пикселей, одновременный сбор изображений как во вторичных, так и в отражённых электронах.
Построение карт распределений элементов на выбранном участке образца. Пиксельный размер карты: 64, 128, 256, 512, 1024, 2048 и 4096 пикселей. Два режима накопления - остановки пользователем и до накопления заданного числа кадров. Множитель биннинга: 1, 2, 4, 8, 16 и 32. Реконструкция спектра из области карты произвольной формы.
Построение профилей распределений элементов вдоль линий, выбранных на электронном изображении. Два режима накопления – до остановки пользователем и до накопления заданного числа сканирований вдоль линии. Отображение профилей раздельно или наложением. Множитель биннинга: 1, 2, 4, 8, 16 и 32. Реконструкция спектра из отрезка профиля.
Программный пакет живой трассировки. Используется для визуализации исследованных участков на образце; позволяет визуально оценить, какие расположения содержат интересующие элементы.
Наличие пользовательского режима работы интерфейса программного обеспечения AztecLive. Свободный порядок переключения между элементами Навигатора.
Управление базами данных эталонов и ввод собственных эталонных спектров для количественного анализа. Запись эталонных спектров как для чистых элементов, так и соединений. Выбор аналитических линий для стандартизации.
Цветное отображение распределений нескольких элементов на одном изображении. Для каждой элементной карты настраивается свой цвет, интенсивность вклада в суммарную карту, яркость, контраст, гамма-коррекция. Цветную карту элементов можно наложить поверх электронного изображения.
Построение карт и профилей распределений элементов, скорректированных с учетом деконволюции перекрывающихся пиков и вычитания фона. Вычисления происходят в течение или после накопления карты/профиля.
Автоматическая коррекция возможного дрейфа изображения (например, из-за недостаточной проводимости образца) в течение длительного накопления EDS-данных. Контрольные SEM-снимки сравниваются с опорным SEM-изображением для данного участка, определяется величина дрейфа изображения и настраивается положение скана для компенсации смещения. Процедуры реактивной и прогнозируемой коррекции дрейфа.
Автоматическое преобразование карт распределений элементов в карты распределений фаз. Для каждой фазы отображаются суммарный спектр, элементный состав и доля от площади снимка, занимаемая данной фазой.
Накопление количественных карт/профилей и визуализация пространственного распределения концентраций элементов в образце в весовых %, в атомных % или в весовых % оксидов.
В случае QuantLine помимо собственно профиля создаётся также таблица с количественным составом в каждой точке профиля.
EDS-карты и суммарный EDS-спектр обновляются в реальном времени синхронно с перемещением столика образцов микроскопа и синхронно с изменением параметра «увеличение». «Живые» EDS-карты.
Получение, обработка и количественный анализ спектров EDS, пучок электронов при этом направляется программным обеспечением микроскопа.
– Коррекция пиков суммирования.
– Современная универсальная программа коррекции матричных эффектов XPP, дает лучшие результаты по сравнению с ZAF и PhiRhoZ как для легких, так и для тяжелых элементов.
– Встроенная библиотека стандартов для безэталонного анализа при любых параметрах SEM. Простая возможность оптимизации системы по одному элементу (обычно кобальт) для точного анализа без нормализации.
– Автоматическая идентификация пиков спектра, также есть инструменты для проверки и уточнения набора автоматически идентифицированных элементов (маркеры пиков элементов, реконструированный спектр, профили пиком).
Выбор точек и участков произвольной формы на электронном изображении для последовательного накопления спектров. Пиксельный размер электронного изображения 64, 128, 256, 512, 1024, 2048, 4096 и 8192 пикселей, одновременный сбор изображений как во вторичных, так и в отражённых электронах.
Построение карт распределений элементов на выбранном участке образца. Пиксельный размер карты: 64, 128, 256, 512, 1024, 2048 и 4096 пикселей. Два режима накопления - остановки пользователем и до накопления заданного числа кадров. Множитель биннинга: 1, 2, 4, 8, 16 и 32. Реконструкция спектра из области карты произвольной формы.
Построение профилей распределений элементов вдоль линий, выбранных на электронном изображении. Два режима накопления – до остановки пользователем и до накопления заданного числа сканирований вдоль линии. Отображение профилей раздельно или наложением. Множитель биннинга: 1, 2, 4, 8, 16 и 32. Реконструкция спектра из отрезка профиля.
Программный пакет живой трассировки. Используется для визуализации исследованных участков на образце; позволяет визуально оценить, какие расположения содержат интересующие элементы.
Наличие пользовательского режима работы интерфейса программного обеспечения AztecLive. Свободный порядок переключения между элементами Навигатора.
Управление базами данных эталонов и ввод собственных эталонных спектров для количественного анализа. Запись эталонных спектров как для чистых элементов, так и соединений. Выбор аналитических линий для стандартизации.
Цветное отображение распределений нескольких элементов на одном изображении. Для каждой элементной карты настраивается свой цвет, интенсивность вклада в суммарную карту, яркость, контраст, гамма-коррекция. Цветную карту элементов можно наложить поверх электронного изображения.
Построение карт и профилей распределений элементов, скорректированных с учетом деконволюции перекрывающихся пиков и вычитания фона. Вычисления происходят в течение или после накопления карты/профиля.
Автоматическая коррекция возможного дрейфа изображения (например, из-за недостаточной проводимости образца) в течение длительного накопления EDS-данных. Контрольные SEM-снимки сравниваются с опорным SEM-изображением для данного участка, определяется величина дрейфа изображения и настраивается положение скана для компенсации смещения. Процедуры реактивной и прогнозируемой коррекции дрейфа.
Автоматическое преобразование карт распределений элементов в карты распределений фаз. Для каждой фазы отображаются суммарный спектр, элементный состав и доля от площади снимка, занимаемая данной фазой.
Накопление количественных карт/профилей и визуализация пространственного распределения концентраций элементов в образце в весовых %, в атомных % или в весовых % оксидов.
В случае QuantLine помимо собственно профиля создаётся также таблица с количественным составом в каждой точке профиля.
Задать вопрос