Настольный сканирующий электронный микроскоп LANSEM, использующий передовые электронно-оптические технологии, обеспечивает совместный анализ в режиме реального времени с помощью сканирующего электронного микроскопа (SEM) и детектора для энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (EDS). Технология SEM используется для получения структурной информации о поверхности образца, а EDS - для анализа химических элементов и определения характеристик.
LANSEM также оснащен высоким ускоряющим напряжением, многоугольным обзором и вспомогательным программным обеспечением для анализа данных, которое может автоматически фокусироваться, быстро сканировать и наблюдать за распределением элементов образца в режиме видео в режиме реального времени, обеспечивая точный и эффективный сбор и анализ изображений.
Примеры изображений, полученных на микроскопе:
Параметры электронно-оптической системы
- Электронная пушка с термоэмиссионным вольфрамовым катодом;
- Диапазон ускоряющего напряжения: 1 - 15 кВ (предустановленные режимы: 5, 10, 15 кВ)
- Диапазон увеличения: 10 – 100 000 крат;
- Цифровое увеличение: 25 – 250 000 крат;
- Пространственное разрешение: 10 нм
Вакуумная система
- Турбомолекулярный насос: 67 л/с
-
Мембранный насос: 20 л/мин
Камера и столик образцов
- Столик образцов с перемещениями X-Y: 25 x 25 мм (моторизованное), Z: 30 мм (моторизованное)
- Максимальный размер образца: 90 мм (диаметр), 40 мм (высота).
Детекторы
- Детектор вторичных электронов для получения изображений топографического контраста;
- Четырёхсегментный высокочувствительный полупроводниковый детектор обратно-рассеянных электронов, расположенный симметрично под полюсным наконечником, для получения изображений контраста среднего атомного номера (композиционного контраста);
- Видеокамера внутреннего обзора камеры образцов;
- Псевдоцветное изображение энергетического спектра в реальном времени (Тип детектора: кремниевый дрейфовый детектор; активная площадь детектирующего элемента – 30 м2; Разрешение параметров EDS: 130 эВ; Диапазон детектируемых элементов: B -U)
Система управления
- Управляющая станция микроскопа; Жидкокристаллический монитор. Клавиатура и мышь.
Программное обеспечение
Программный модуль удобен и прост в эксплуатации. Встроенный конденсор не требует ручной регулировки диафрагмы и частого выравнивания электронного луча. Он может автоматически выполнять контрастность по яркости, автоматическую фокусировку, автоматическое устранение астигматизма, сшивание больших изображений с помощью одной кнопки. Это позволяет новым пользователям быстро освоить его.
Прочее
- Источник бесперебойного питания на 2,0 кВА для защиты оборудования и безопасного выключения.
- Эргономичный стол оператора.
Габариты и вес:
- ширина – 292 мм, глубина – 570 мм, высота – 515 мм
- масса основного блока – 55 кг