-
Разрешение:3 нм при 30 кВ
-
Увеличение:6х ̴ 300,000х
-
Система линз:Трехступенчатые электромагнитные линзы
EM 6900 – сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) с термоэмиссионным вольфрамовым катодом, позволяющий получать СЭМ-изображения и проводить анализ элементного состава в реальном времени, что значительно упрощает получение данных как о морфологии поверхности образца, так и о его локальном элементном составе, и делает СЭМ EM 6900 эффективным аналитическим решением для проведения регулярного контроля качества материалов, анализа отказов и различных лабораторных исследований.
В случае работы с диэлектрическими образцами может быть оснащен системой низкого вакуума.
Технические характеристики
|
Разрешение: |
3 нм при 30 кВ |
|
|
Увеличение: |
6х ̴ 300,000х |
|
|
Ускоряющее напряжение: |
0 ̴ 30 кВ |
|
|
Электронная пушка: |
Вольфрамовый катод |
|
|
Система линз: |
Трехступенчатые электромагнитные линзы |
|
|
Объективные апертуры: |
3 сменные |
|
|
Детекторы: |
SE, BSE (опция), EDS (опция), EBSD (опция) |
|
|
Столик образца: |
Ручной или авто по X/Y |
|
|
Ход столика |
X |
0 ̴ 80 мм |
|
Y |
0 ̴ 60 мм |
|
|
Z |
0 ̴ 50 мм |
|
|
R (поворот) |
0о ̴ 360о |
|
|
T (наклон) |
-5о ̴ 90о |
|
Тип катода, электронная оптика и система сканирования
– Разрешение: 3 нм при 30 кВ (SE); 6 нм при 30 кВ (BSE)
– Увеличение: 8х ~ 300 000х (фактическое), 16х ~ 600 000х (экранное).
– Система линз: трехступенчатая высокоточная система электромагнитных линз.
– Вольфрамовый предцентрованный термоэмиссионный катод.
– Апертурная диафрагма: механическая смена трех апертур для настройки ширины пучка электронов.
– Ускоряющее напряжение в диапазоне от 0 В до 30 кВ. (от 0 до 10 кВ шаг 100 В, 10 кВ – 30 кВ шаг 1 кВ)
– Сохранение изображений размером до 4 096 × 4 096 пикселей за одно сканирование. Формат изображений: BMP, GIF、JPG、PNG、TIF、SEM и т.д.
Вакуумная система
– Вакуумная система обеспечивает давление в режиме высокого вакуума 2.6х10-3 Па.
– Ни один из элементов вакуумной системы не использует систем водяного охлаждения.
– Система откачки на основе форвакуумного и турбомолекулярного насосов.
– В качестве форвакуумного насоса используется роторный масляный насос (опционально без масляный).
Камера и рабочий стол
– Максимальный диаметр образцов: 175 мм.
– Наличие интерфейсных портов для инсталляции детекторов и аксессуаров (WDS, EDS, EBSD и т.д.).
– Максимальная высота образца: 50 мм.
– Полностью моторизованный по 5 осям (X, Y, Z, наклон (ручной), вращение) компуцентрический столик с прецизионным воспроизведением координат, диапазоны перемещений: по X-Y: 70×50 мм, по Z: 45 мм, по вращению: 360, по наклону: от -5 до +70.
Детекторы
– Детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли для получения изображений топографического контраста, используется во всем диапазоне перемещений по вертикальной оси.
– Выдвижной четырёхсегментный полупроводниковый детектор обратно рассеянных электронов, симметрично расположенный под полюсным наконечником. Сигналы от каждого из сегментов могут быть выведены отдельно или объединены для получения оптимальных изображений композиционного или топографического контраста.
– Встроенный измеритель поглощённого тока (пикоамперметр). Обеспечивает непрерывное измерение тока, поглощённого образцом. Дополнительно измеритель поглощённого тока выполняет функцию датчика касания образцом частей камеры микроскопа (защита образца и детекторов).
– ИК-телекамера обзора камеры образцов для легкой навигации и контроля перемещений столика образцов.
|
Функционал ПО |
||||||||||||||||||||||||||||||
|
Расходные материалы и держатели
– Предцентрованный вольфрамовый катод 1 бокс (5 шт.)
– Стабик для фиксации образцов Ø 13 мм (5 шт.).
– Стабик для фиксации образцов Ø 32 мм (5 шт.).
– Углеродный двусторонний скотч, ширина 6 мм (1 шт.).
– Вакуумная смазка (10 шт.)
– Безворсовая салфетка (1 шт.)
– Полировальная паста (1 шт.)
– Бокс для образцов (2 шт.)
– Ватные тампоны (1 шт.)
– Масляный фильтр (1 шт.)
Инструменты
– Набор шестигранных ключей 1.5 мм ~ 10 мм (1 набор)
– Пинцет 100 – 120 мм
– Плоская отвертка 2*50 мм и 2*125 мм (2 шт.)
– Крестовая отвертка 2*125 мм (1 шт.)
– Съемник диафрагмы (1 шт.)
– Чистящая палочка (1 шт.)
– Инструмент для юстировки катода (1 шт.)
– Уплотнитель для юстировки катода (3 шт.)
– Tube Extractor (1 шт.)
Габариты и вес прибора
– Микроскоп: 800 x 800 x 1850 мм, рабочий стол: 1340 x 850 x 740 мм
– Общий вес: 400 кг
– Рекомендуемая установка – первый этаж, либо подвальное помещение. Нагрузка на пол ≥ 500 кг/м3
