Измерительный модуль использует спектральную конфокальную технологию, которая позволяет бесконтактно и с высокой точностью измерять информацию о высоте различных материалов.
В сочетании с модулем сканирования XY с обратной связью и алгоритмом 3D-визуализации можно получать тонкие поверхностные микроструктуры.
В многофункциональном модуле постобработки графики также можно гибко выполнять обработку изображений, 3D-анализ, контурный анализ, анализ шероховатости и т.д.
Лазерные спектроскопические конфокальные микроскопы серии ICX используются в прецизионной механической обработке, обработке поверхностей, трении и износе, разработке новых материалов, разработке топливных элементов, производстве MEMS, производстве пластин, прецизионном оптическом производстве, испытаниях деталей, микрожидкостных чипах, мембранных структурах, микро-нанодобавках и других областях.

Особенности:

• Отражательная способность измеряемого объекта: 0,05%~100%
• Источник света: синий лазер 450 нм
• Разъем оптического волокна: FC/APC
• Среднеквадратичная повторяемость: 0,05%
• Среднеквадратичная точность: 0,1%
• Повторяемость с шагом 1-σ: 0,02%
• Точность с шагом 1-σ: 0,05%
• Размер стола: 279x259 мм
• Ход: 100x100 мм
• Разрешение по оси XY: 0,1 мкм
• Повторяемость: ±0,5 мкм
• Точность позиционирования: ±1 мкм
• Грузоподъемность: 5 кг
• Максимальная скорость перемещения: 80 мм/с
• Интервал сканирования: 1~100 мкм
• Допустимая рабочая температура: 5-45℃
• Температура хранения: 0-45℃
• Относительная влажность: 5-95%, без конденсации
• Источник питания: переменный ток (100-240 В/50 ~ 60 Гц, ~ 1 А)
• Оптика и разрешающая способность (один из представленных ниже вариантов)

Модуль объектива KC-H1010	Модуль объектива KC-H1020	Модуль объектива KC-H1030	Модуль объектива KCH 1040
Диапазон измерения по оси Z (вверх и вниз от точки фокуса): ±55 мкм	Диапазон измерения по оси Z (вверх и вниз от точки фокуса): ±190 мкм	Диапазон измерения по оси Z (вверх и вниз от точки фокуса): ±550 мкм	Диапазон измерения по оси Z (вверх и вниз от точки фокуса): ±1700 мкм
Максимальный наклон поверхности: ±45°	Максимальный наклон поверхности: ±28°	Максимальный наклон поверхности: ±28°	Максимальный наклон поверхности: ±21°
Размер пятна лазера: 2 мкм	Размер пятна лазера: 10 мкм	Размер пятна лазера: 10 мкм	Размер пятна лазера: 20 мкм
Разрешение: 2 нм	Разрешение: 10 нм	Разрешение: 10 нм	Разрешение: 40 нм
Скорость сканирования: 200-4500 Гц	Скорость сканирования: 200-4500 Гц	Скорость сканирования: 200-4500 Гц	Скорость сканирования: 200-4500 Гц