+7 (495) 640-19-71 Заказать звонок
Обратная связь
Сканирующий электронный микроскоп KYKY-EM6900
Узнать цену
EM 6900 – сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) с термоэмиссионным вольфрамовым катодом, позволяющий получать СЭМ-изображения и проводить анализ элементного состава в реальном времени.
Узнать цену
Технические характеристики
  • Разрешение:
    3 нм при 30 кВ
  • Увеличение:
    6х ̴ 300,000х
  • Система линз:
    Трехступенчатые электромагнитные линзы
Описание

EM 6900 – сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) с термоэмиссионным вольфрамовым катодом, позволяющий получать СЭМ-изображения и проводить анализ элементного состава в реальном времени, что значительно упрощает получение данных как о морфологии поверхности образца, так и о его локальном элементом составе, и делает СЭМ EM 6900 эффективным аналитическим решением для проведения регулярного контроля качества материалов, анализа отказов и различных лабораторных исследований.

В случае работы с диэлектрическими образцами может быть оснащен системой низкого вакуума.

Технические характеристики


Разрешение:

3 нм при 30 кВ

Увеличение:

6х ̴ 300,000х

Ускоряющее напряжение:

0 ̴ 30 кВ

Электронная пушка:

Вольфрамовый катод

Система линз:

Трехступенчатые электромагнитные линзы

Объективные апертуры:

3 сменные

Детекторы:

SE, BSE (опция), EDS (опция), EBSD (опция)

Столик образца:

Ручной или авто по X/Y

Ход столика

X

0 ̴ 80 мм

Y

0 ̴ 60 мм

Z

0 ̴ 50 мм

R (поворот)

0о ̴ 360о

T (наклон)

-5о ̴ 90о

 

Тип катода, электронная оптика и система сканирования

– Разрешение: 3 нм при 30 кВ (SE); 6 нм при 30 кВ (BSE)
– Увеличение:  ~ 300 000х (фактическое), 16х ~ 600 000х (экранное).
– Система линз: трехступенчатая высокоточная система электромагнитных линз.
– Вольфрамовый предцентрованный термоэмиссионный катод.
– Апертурная диафрагма: механическая смена трех апертур для настройки ширины пучка электронов.
– Ускоряющее напряжение в диапазоне от 0 В до 30 кВ. (от 0 до 10 кВ шаг 100 В, 10 кВ – 30 кВ шаг 1 кВ)
– Сохранение изображений размером до 4 096 × 4 096 пикселей за одно сканирование. Формат изображений: BMP, GIF、JPG、PNG、TIF、SEM и т.д.

Вакуумная система


– Вакуумная система обеспечивает давление в режиме высокого вакуума 2.6х10-3 Па.
– Ни один из элементов вакуумной системы не использует систем водяного охлаждения.
– Система откачки на основе форвакуумного и турбомолекулярного насосов.
– В качестве форвакуумного насоса используется роторный масляный насос (опционально без масляный).

Камера и рабочий стол


– Максимальный диаметр образцов: 175 мм.
– Наличие интерфейсных портов для инсталляции детекторов и аксессуаров (WDS, EDS, EBSD и т.д.).
– Максимальная высота образца: 50 мм.
– Полностью моторизованный по 5 осям (X, Y, Z, наклон (ручной), вращение) компуцентрический столик с прецизионным воспроизведением координат, диапазоны перемещений: по X-Y: 70×50 мм, по Z: 45 мм, по вращению: 360, по наклону: от -5 до +70.

Детекторы


– Детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли для получения изображений топографического контраста, используется во всем диапазоне перемещений по вертикальной оси.
– Выдвижной четырёх сегментный полупроводниковый детектор обратно рассеянных электронов, симметрично расположенный под полюсным наконечником. Сигналы от каждого из сегментов могут быть выведены отдельно или объединены для получения оптимальных изображений композиционного или топографического контраста.
– Встроенный измеритель поглощённого тока (пикоамперметр). Обеспечивает непрерывное измерение тока, поглощённого образцом. Дополнительно измеритель поглощённого тока выполняет функцию датчика касания образцом частей камеры микроскопа (защита образца и детекторов).
– ИК-телекамера обзора камеры образцов для легкой навигации и контроля перемещений столика образцов.


Функционал ПО

Регулятор высокого давления

Вертикальное сканирование

Регулировка смещения пучка

Регулировка тока пучка

Настройка конденсорной линзы

Мультимасштабные измерения

Настройка астигматизма

Настройка центрирования пучка

Автояркость/контраст

Настройка яркости

Настройка объективной линзы

Автофокус

Настройка контраста

Фото превью

Автонастройка астигматизма

Настройка увеличения

Масштабная линейка

Автонастройка тока пучка

Выбор области сканирования

4-х скоростной режим

Настройка параметров

Режим сканирования с точки

Режим инверсии объективной линзы

Снимок изображения, фиксация изображения

Сканирование по площади

Реверсирование конденсора

One Key Quick View

Горизонтальное сканирование

Поворот электронного изображения



Расходные материалы и держатели


– Предцентрованный вольфрамовый катод  1 бокс (5 шт.)
– Стабик для фиксации образцов Ø 13 мм  (5 шт.).
– Стабик для фиксации образцов Ø 32 мм  (5 шт.).
– Углеродный двусторонний скотч,  ширина 6 мм (1 шт.).
– Вакуумная смазка (10 шт.)
– Безворсовая салфетка (1 шт.)
– Полировальная паста (1 шт.)
– Бокс для образцов (2 шт.)
– Ватные тампоны (1 шт.)
– Масляный фильтр (1 шт.)

Инструменты


– Набор шестигранных ключей 1.5 мм ~  10 мм (1 набор)
– Пинцет 100 – 120 мм
– Плоская отвертка 2*50 мм и 2*125 мм  (2 шт.)
– Крестовая отвертка 2*125 мм (1 шт.)
– Съемник диафрагмы (1 шт.)
– Чистящая палочка (1 шт.)
– Инструмент для юстировки катода (1  шт.)
– Уплотнитель для юстировки катода (3  шт.)
– Tube Extractor (1 шт.)

Габариты и вес прибора


– Микроскоп: 800 x 800 x 1850 мм, рабочий стол: 1340 x 850 x 740 мм
– Общий вес: 400 кг
– Рекомендуемая установка – первый этаж, либо подвальное помещение. Нагрузка на пол ≥ 500 кг/м3

06-05-2022 01-29-06.png


Задать вопрос