-
Увеличение:6х ̴ 1,000,000х
-
Электронная пушка:Полевая эмиссия, катод Шоттки
Сканирующий электронный микроскоп полевой эмиссии KYKY-EM8100
EM 8100 – сканирующий электронный микроскоп полевой эмиссии (СЭМ) с катодом Шоттки, позволяющий получать СЭМ-изображения высокого разрешения и проводить анализ элементного состава в реальном времени, что значительно упрощает получение данных как о морфологии поверхности образца, так и о его локальном элементом составе, и делает СЭМ EM 8100 эффективным аналитическим решением для проведения высокоточного контроля качества материалов, анализа отказов и различных лабораторных исследований.
В случае работы с диэлектрическими образцами может быть оснащен напылительной установкой (GVC-1000/2000).
Технические характеристики
|
Разрешение: |
1 нм при 30 кВ (SE) 3 нм при 1 кВ (SE) 2.5 нм при 30 кВ (BSE) |
|
|
Увеличение: |
6х ̴ 1,000,000х |
|
|
Ускоряющее напряжение: |
0 ̴ 30 кВ |
|
|
Электронная пушка: |
Полевая эмиссия, катод Шоттки |
|
|
Система линз: |
Многоуровневая коническая система высокоточных линз. Фронтальная линза со снижением аберраций; |
|
|
Объективные апертуры: |
Три апертуры регулируются вне вакуумной системы, замена без разборки колонны; |
|
|
Детекторы: |
SE, BSE, EDS (опция), EBSD (опция) |
|
|
Столик образца: |
Полностью моторизованный |
|
|
Ход столика |
X |
0 ̴ 150 мм |
|
Y |
0 ̴150 мм |
|
|
Z |
0 ̴ 60 мм |
|
|
R (поворот) |
0о ̴ 360о |
|
|
T (наклон) |
-5о ̴ 75о |
|
Тип катода, электронная оптика и система сканирования
– Разрешение 1 нм при 30 кВ (SE); 3 нм при 1 кВ (SE); 2.5 нм при 30 кВ (BSE)
– Увеличение: 6х ~ 1 000 000х
– Система линз: многоуровневая коническая система высокоточных линз.
Фронтальная линза со снижением аберраций;
– Апертуры: три апертуры регулируются вне вакуумной системы, замена без разборки колонны;
– Автоэмиссионный катод Шоттки.
– Апертурная диафрагма: механическая смена трех апертур для настройки ширины пучка электронов.
– Ускоряющее напряжение в диапазоне от 0 В до 30 кВ. (непрерывно подстраиваемое)
– Сохранение изображений размером до 16 384 × 16 384 пикселей за одно сканирование. Формат изображений: BMP, GIF, JPG, PNG, TIF, SEM и т.д. Формат видео: AVI.
Вакуумная система
– Вакуумная система обеспечивает давление в режиме высокого вакуума 2х10-7 Па - в колонне, 6х10-4 Па - в камере.
– Ни один из элементов вакуумной системы не использует систем водяного охлаждения.
– Система откачки на основе форвакуумного, турбомолекулярного и ионно-гетерного насосов.
– В качестве форвакуумного насоса используется роторный масляный насос (опционально: безмасляный).
Камера и рабочий стол
– Максимальный диаметр образцов: 340 мм. ДхШхВ – 342х324х320 мм (внутренний размер камеры)
– Более 4 интерфейсных портов для инсталляции детекторов и аксессуаров (WDS, EDS, EBSD и т.д.).
– Максимальная высота образца: 50 мм.
– Полностью моторизованный по 5 осям эвцентричный столик с прецизионным воспроизведением координат; диапазоны перемещений: по X-Y: 0~150 мм, по Z: 0~60 мм, по вращению: 360, по наклону: от -5 до +75.
Детекторы
– Детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли для получения изображений топографического контраста, используется во всем диапазоне перемещений по вертикальной оси.
– Выдвижной четырёхсегментный полупроводниковый детектор обратно рассеянных электронов, симметрично расположенный под полюсным наконечником. Сигналы от каждого из сегментов могут быть выведены отдельно или объединены для получения оптимальных изображений композиционного или топографического контраста.
– Встроенный измеритель поглощённого тока (пикоамперметр). Обеспечивает непрерывное измерение тока, поглощённого образцом. Дополнительно измеритель поглощённого тока выполняет функцию датчика касания образцом частей камеры микроскопа (защита образца и детекторов).
– ИК-телекамера обзора камеры образцов для легкой навигации и контроля перемещений столика образцов.
Вакуумная система
– Вакуумная система обеспечивает давление в режиме высокого вакуума 2х10-7 Па - в колонне, 6х10-4 Па - в камере.
– Ни один из элементов вакуумной системы не использует системы водяного охлаждения.
– Система откачки на основе форвакуумного, турбомолекулярного и ионно-гетерного насосов.
– В качестве форвакуумного насоса используется роторный масляный насос (опционально безмасляный).
Камера и рабочий стол
– Максимальный диаметр образцов: 340 мм. ДхШхВ – 342х324х320 мм (внутренний размер камеры)
– Более 4 интерфейсных портов для инсталляции детекторов и аксессуаров (WDS, EDS, EBSD и т.д.).
– Максимальная высота образца: 50 мм.
– Полностью моторизованный по 5 осям эвцентричный столик с прецизионным воспроизведением координат; диапазоны перемещений: по X-Y: 0~150 мм, по Z: 0~60 мм, по вращению: 360, по наклону: от -5 до +75.
Детекторы
– Детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли для получения изображений топографического контраста, используется во всем диапазоне перемещений по вертикальной оси.
– Выдвижной четырёхсегментный полупроводниковый детектор обратно рассеянных электронов, симметрично расположенный под полюсным наконечником. Сигналы от каждого из сегментов могут быть выведены отдельно или объединены для получения оптимальных изображений композиционного или топографического контраста.
– Встроенный измеритель поглощённого тока (пикоамперметр). Обеспечивает непрерывное измерение тока, поглощённого образцом. Дополнительно: измеритель поглощённого тока выполняет функцию датчика касания образцом частей камеры микроскопа (защита образца и детекторов).
– ИК-телекамера обзора камеры образцов для легкой навигации и контроля перемещений столика образцов.
|
Функционал ПО |
||||||||||||||||||||||||||||||
|
Расходные материалы и держатели
– Катод Шоттки предустановленный (1 шт.)
– Стабик для фиксации образцов Ø 13 мм (3 шт.).
– Стабик для фиксации образцов Ø 32 мм (5 шт.).
– Углеродный двусторонний скотч, ширина 6 мм (1 шт.).
– Вакуумная смазка (10 шт.)
– Безворсовая салфетка (1 шт.)
– Полировальная паста (1 шт.)
– Бокс для образцов (1 шт.)
– Ватные тампоны 100 шт. в боксе (1 бокс.)
– Масляный фильтр (1 шт.)
Инструменты
– Набор шестигранных ключей 1.5 мм ~ 10 мм (1 набор)
– Пинцет 100 – 120 мм
– Плоская отвертка 2*50 мм и 2*125 мм (2 шт.)
– Крестовая отвертка 2*125 мм (1 шт.)
– Соединительная трубка Ø 10/6.5 Внешний/внутренний (5 м.)
– Редуктор выходное давление -0.6*25 МПа (1 шт.)
– Набор шестигранных ключей 1.5 мм ~ 10 мм (1 набор)
– Пинцет 100 – 120 мм
– Плоская отвертка 2*50 мм и 2*125 мм (2 шт.)
Габариты и вес прибора
– Микроскоп: 800 x 800 x 1480 мм, рабочий стол: 1340 x 850 x 740 мм
– Общий вес: 550 кг
– Потребляемая мощность: 3 КВт
– Вибрация: с любого направления менее 3 мкм (P-P) в месте установки прибора
– Магнитное поле: с любого направления менее 2×10-7 Тл (2 мГс, P-P)
– Место установки прибора предполагает первый этаж/цокольный этаж, находящийся вдали от железной дороги, метро, главной дороги, а также источников магнитных помех, таких как трансформаторное оборудование и высокочастотное оборудование.
– Чистый азот (99.9%)
