+7 (495) 640-19-71 Заказать звонок
Обратная связь
Сканирующий электронный микроскоп полевой эмиссии KYKY-EM8100
Электронные микроскопы/Сканирующие электронные микроскопы KYKY
Узнать цену
EM 8100 – сканирующий электронный микроскоп полевой эмиссии (СЭМ) с катодом Шоттки, позволяющий получать СЭМ-изображения высокого разрешения и проводить анализ элементного состава в реальном времени.
Узнать цену
Технические характеристики
  • Увеличение:
    6х ̴ 1,000,000х
  • Электронная пушка:
    Полевая эмиссия, катод Шоттки
Описание

Сканирующий электронный микроскоп полевой эмиссии KYKY-EM8100


EM 8100 – сканирующий электронный микроскоп полевой эмиссии (СЭМ) с катодом Шоттки, позволяющий получать СЭМ-изображения высокого разрешения и проводить анализ элементного состава в реальном времени, что значительно упрощает получение данных как о морфологии поверхности образца, так и о его локальном элементом составе, и делает СЭМ EM 8100 эффективным аналитическим решением для проведения высокоточного контроля качества материалов, анализа отказов и различных лабораторных исследований.

В случае работы с диэлектрическими образцами может быть оснащен напылительной установкой (GVC-1000/2000).


                      Технические характеристики



Разрешение:

1 нм при 30 кВ (SE)

3 нм при 1 кВ (SE)

2.5 нм при 30 кВ (BSE)

Увеличение:

6х ̴ 1,000,000х

Ускоряющее напряжение:

0 ̴ 30 кВ

Электронная пушка:

Полевая эмиссия, катод Шоттки

Система линз:

Многоуровневая коническая система высокоточных линз.

Фронтальная линза со снижением аберраций;

Объективные апертуры:

Три апертуры регулируются вне вакуумной системы, замена без разборки колонны;

Детекторы:

SE, BSE, EDS (опция), EBSD (опция)

Столик образца:

Полностью моторизованный

Ход столика

X

0 ̴ 150 мм

Y

0 ̴150 мм

Z

0 ̴ 60 мм

R (поворот)

0о ̴ 360о

T (наклон)

-5о ̴ 75о


Тип катода, электронная оптика и система сканирования


– Разрешение 1 нм  при 30 кВ (SE); 3 нм при 1 кВ (SE); 2.5 нм при 30 кВ (BSE)
– Увеличение:  ~ 1 000 000х
– Система линз: многоуровневая  коническая система высокоточных линз.
Фронтальная линза  со снижением аберраций;
– Апертуры: три  апертуры регулируются вне вакуумной системы, замена без разборки колонны;
– Автоэмиссионный  катод Шоттки.
– Апертурная  диафрагма: механическая смена трех апертур для настройки ширины пучка  электронов.
– Ускоряющее  напряжение в диапазоне от 0 В до 30 кВ. (непрерывно подстраиваемое)
– Сохранение  изображений размером до 16 384 × 16 384 пикселей за одно сканирование. Формат  изображений: BMP,GIF、JPG、PNG、TIF、SEM и т.д. Формат видео:  AVI

Вакуумная система


– Вакуумная  система обеспечивает давление в режиме высокого вакуума 2х10-7 Па -в  колонне, 6х10-4 Па в камере.
– Ни один из  элементов вакуумной системы не использует систем водяного охлаждения.
– Система откачки на основе  форвакуумного, турбомолекулярного и ионно-гетерного насосов.
– В качестве  форвакуумного насоса используется роторный масляный насос (опционально  безмасляный).

Камера и рабочий стол


– Максимальный  диаметр образцов: 340 мм. ДхШхВ – 342х324х320 мм (внутренний размер камеры)
– Более 4 интерфейсных портов для  инсталляции детекторов и аксессуаров (WDS, EDS, EBSD и т.д.).
– Максимальная высота образца: 50 мм.
– Полностью моторизованный по 5 осям  эвцентричный столик с прецизионным воспроизведением координат; диапазоны  перемещений: по X-Y: 0~150 мм, по Z: 0~60 мм, по вращению: 360, по наклону:  от -5 до +75.

Детекторы


– Детектор  вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли для получения изображений  топографического контраста, используется во всем диапазоне перемещений по  вертикальной оси.
– Выдвижной  четырёх сегментный полупроводниковый детектор обратно рассеянных электронов,  симметрично расположенный под полюсным наконечником. Сигналы от каждого из  сегментов могут быть выведены отдельно или объединены для получения  оптимальных изображений композиционного или топографического контраста.
– Встроенный  измеритель поглощённого тока (пикоамперметр). Обеспечивает непрерывное  измерение тока, поглощённого образцом. Дополнительно измеритель поглощённого  тока выполняет функцию датчика касания образцом частей камеры микроскопа (защита  образца и детекторов).
– ИК-телекамера  обзора камеры образцов для легкой навигации и контроля перемещений столика  образцов.

Вакуумная система


– Вакуумная система обеспечивает давление в режиме высокого вакуума 2х10-7 Па -в колонне, 6х10-4 Па в камере.
– Ни один из элементов вакуумной системы не использует систем водяного охлаждения.
– Система откачки на основе форвакуумного, турбомолекулярного и ионно-гетерного насосов.
– В качестве форвакуумного насоса используется роторный масляный насос (опционально безмасляный).

Камера и рабочий стол


– Максимальный диаметр образцов: 340 мм. ДхШхВ – 342х324х320 мм (внутренний размер камеры)
– Более 4 интерфейсных портов для инсталляции детекторов и аксессуаров (WDS, EDS, EBSD и т.д.).
– Максимальная высота образца: 50 мм.
– Полностью моторизованный по 5 осям эвцентричный столик с прецизионным воспроизведением координат; диапазоны перемещений: по X-Y: 0~150 мм, по Z: 0~60 мм, по вращению: 360, по наклону: от -5 до +75.

Детекторы


– Детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли для получения изображений топографического контраста, используется во всем диапазоне перемещений по вертикальной оси.
– Выдвижной четырёхсегментный полупроводниковый детектор обратно рассеянных электронов, симметрично расположенный под полюсным наконечником. Сигналы от каждого из    сегментов могут быть выведены отдельно или объединены для получения оптимальных изображений композиционного или топографического контраста.
– Встроенный измеритель поглощённого тока (пикоамперметр). Обеспечивает непрерывное измерение тока, поглощённого образцом. Дополнительно измеритель поглощённого тока        выполняет функцию датчика касания образцом частей камеры микроскопа (защита образца и детекторов).
– ИК-телекамера обзора камеры образцов для легкой навигации и контроля перемещений столика образцов.


Функционал ПО


Регулятор высокого напряжения

Автоматический катод on/off

Регулировка смещения пучка

Настройка яркости

Настройка объективной линзы

Мультимасштабные измерения

Настройка контраста

Настройка центрирования пучка

Автояркость/контраст

Настройка увеличения

Настройка объективной линзы

Автофокус

Выбор области сканирования

Размагничивание электромагнитной линзы

Автонастройка астигматизма

Режим сканирования с точки

Регулировка сдвига потенциала

Автонастройка тока пучка

Сканирование по площади

Настройка скорости сканирования

Настройка параметров

Сканирование по линии

Настройка электромагнитных линз в пушке

Мультиканальный режим

Настройка яркости

Настройка наклона изображения

Масштабные измерения

Датчик высокого напряжения

Поворот электронного изображения



Расходные материалы и держатели


– Катод Шоттки предустановленный (1  шт.)
– Стабик для фиксации образцов Ø 13 мм  (3 шт.).
– Стабик для фиксации образцов Ø 32 мм  (5 шт.).
– Углеродный двусторонний скотч,  ширина 6 мм (1 шт.).
– Вакуумная смазка (10 шт.)
– Безворсовая салфетка (1 шт.)
– Полировальная паста (1 шт.)
– Бокс для образцов (1 шт.)
– Ватные тампоны 100 шт. в боксе (1  бокс.)
– Масляный фильтр (1 шт.)

Инструменты


– Набор шестигранных ключей 1.5 мм ~  10 мм (1 набор)
– Пинцет 100 – 120 мм
– Плоская отвертка 2*50 мм и 2*125 мм  (2 шт.)
– Крестовая отвертка 2*125 мм (1 шт.)
– Соединительная трубка Ø 10/6.5  Внешний/внутренний (5 м.)
– Редуктор выходное давление -0.6*25  МПа (1 шт.)
– Набор шестигранных ключей 1.5 мм ~  10 мм (1 набор)
– Пинцет 100 – 120 мм
– Плоская отвертка 2*50 мм и 2*125 мм  (2 шт.)


Габариты и вес прибора


– Микроскоп: 800 x 800 x 1480 мм, рабочий стол: 1340 x 850 x 740 мм
– Общий вес: 550 кг
– Потребляемая мощность: 3 КВт
– Вибрация: с любого направления менее 3 мкм (P-P) в месте установки прибора
– Магнитное поле: с любого направления менее 2×10-7 Тл (2 мГс, P-P)
– Место установки прибора предполагает первый этаж/цокольный этаж, находящийся вдали от железной дороги, метро, главной дороги, а также источников магнитных помех, таких как трансформаторное оборудование и высокочастотное оборудование.
– Чистый азот (99.9%)

06-05-2022 01-42-25.png


Задать вопрос