Универсальные измерительные микроскопы — это приборы преимущественно бесконтактного типа, предназначенные для неразрушающего контроля геометрических параметров поверхностей и форм изделий из металла, пластика, керамики. Они широко востребованы в микроэлектронике, судостроении, автомобильной, оптико-механической, авиакосмической промышленности, то есть там, где даже минимальные погрешности недопустимы.

Устройство и принцип работы универсальных измерительных микроскопов

Все модели универсальных измерительных микроскопов Walter Uhl конструктивно схожи между собой. В их строении присутствуют:

• предметный стол, перемещающийся на роликах по перпендикулярно расположенным направляющим;
• телецентрическая оптическая система и моно- или бинокулярный тубус;
• осветительная и проекционная системы;
• виброустойчивое основание.

Управление приборами осуществляется как вручную, так и с помощью моторизованных приводов. Линейные измерения выполняются визирным методом, то есть путём нахождения разницы между показаниями микровинта до и после перемещения столика. Для определения величины углов применяется проекционный метод, предполагающий совмещение линий окулярной головки со сторонами детали. Данные манипуляции сами по себе не очень сложные. Тем не менее многофункциональные считывающие устройства QC и программы ОМС, IMS, VMS, Metlogix M2, Metlogix M3 упрощают и ускоряют измерительный процесс ещё больше, что особо важно при выполнении изнурительной рутинной работы. К тому же они позволяют не только получать точные значения заданных величин, но и систематизировать их, представлять в виде схем и таблиц, что очень удобно при подготовке отчётов.

Преимущества и применение универсальных измерительных микроскопов серии VMM

В комплектацию универсальных измерительных микроскопов Walter Uhl входят наборы разных типов быстросъёмных объективов — телецентрических, классических микрообъективов для металлографии, а также микрообъективов с увеличенным рабочим расстоянием. Такое оснащение даёт возможность проводить исследования очень малых образцов и их элементов. При увеличительной способности аппарата, достигающей 1500 крат, удобно:

• выполнять замеры дорожек в печатных платах, комплектующих для фоточувствительных приборов с зарядовой связью;
• делать аттестацию кристаллов по реперным знакам;
• осуществлять контроль покрытий, микросхем, штампов, рамок, обойм, съёмников, полупроводниковых подложек, кристаллодержателей и других изделий.

На больших столах универсальных микроскопов VMM можно изучать и параметры кремниевых пластин, которые применяются в приборостроении и микроэлектронике.